Olievrije luchtcompressor voor halfgeleiderlaboratoria

Om betrouwbare nutsleidingen voor precisieonderzoeksfaciliteiten tot stand te brengen, kunt u gebruikmaken van Chinese leveranciers van Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs. De hoogzuivere luchtoplossingen van DECHUAN maken gebruik van meerlaagse koolstofisolatieafdichtingen om sporenkoolwaterstoffen te elimineren, waardoor een onberispelijke gaskwaliteit wordt gegarandeerd voor kritisch siliciumetsen.

Kritieke vereisten voor de zuiverheid van cleanroomgas

Bij de fabricage van halfgeleiders en dunnefilmlithografie kan zelfs een enkele microscopisch kleine druppel oliedamp die door de luchtleiding wordt gevoerd, een hele productiebatch ruïneren. Dit gespecialiseerde product is ontworpen om aan de allerhoogste zuiverheidsnormen te voldoen:

• TÜV-gecertificeerde luchttoevoer van klasse 0: onze systemen ondergaan strenge tests bij variabele bedrijfstemperaturen. Onafhankelijke analyse bevestigt absoluut geen sporen van olie in de uitgaande luchtstroom.

• Corrosievrije interne luchtwegen: Elk stuk leidingwerk, koelerbundel en scheidingsmatrix stroomafwaarts van de compressiekamer is gemaakt van hoogwaardig roestvrij staal om te voorkomen dat roestvlokken de luchtleidingen in de cleanroom vervuilen.

• Geavanceerde Elektronikon®-integratie: de geïntegreerde controller houdt de operationele gegevens nauwlettend in de gaten en beschikt over proactieve veiligheidsuitschakelingen om ervoor te zorgen dat er nooit onzuivere lucht in het laboratorium terechtkomt.

De hoge kosten van microverontreiniging in de elektronica

Bij de vervaardiging van halfgeleiderwafels kan een enkel druppeltje olieaërosol een hele cleanroomomgeving verontreinigen, duizenden siliciumwafels vernielen en voor miljoenen verloren productietijd veroorzaken. Traditionele luchtcompressoren kunnen niet de absolute nul-koolwaterstofzuiverheid garanderen die vereist is voor deze processen op nanometerschaal.

De gespecialiseerde Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs garandeert pure procesveiligheid:

• Gecertificeerde luchtstroom van KLASSE 0: strikt getest door TÜV over extreme thermische en drukbereiken om te garanderen dat er absoluut geen olie aanwezig is.

• Deeltjesvrije interne onderdelen: roestvrijstalen voorkoelers en star-fin-warmtewisselaars elimineren oxidatievlokken of chemische afscheiding in het luchtpad.

• Elektronisch bewakingsschild: proactieve onderhoudsalarmen en automatische uitschakelingen bij storingen voorkomen systeemafwijkingen voordat deze uw cleanroomgereedschappen bereiken.

Technische zuiverheidsparameters

• Systeemvermogen: 55 kW - 900 kW configuraties met hoge dichtheid.

• Volumetrische leveringssnelheid: 4,2 - 148,5 m³/min schone stroomopbrengst.

• Classificatie oliegehalte: ISO 8573-1 Klasse 0, volledig olievrije validatie.

• Koelindeling: roestvrijstalen vloeistofkoeling voorkomt het vrijkomen van chemicaliën.

Prestatiereferentieomstandigheden voor de unit zijn gemeten volgens bijlage C, 4e editie (2009) van ISO 1217:

· Relatieve vochtigheid: 0%

· Absolute ingangsdruk: 1 bar

· Inlaattemperatuur: 20°C De afvoersnelheid (FAD) werd gemeten bij de volgende bedrijfsdrukken:

Type constante snelheid:

·  -7,5 bartype: 7 bar

· -8,6 bartype: 7 bar

· -10 bar-type: 9 bar

VSD-type:

· -8,6 bartype: 7 bar

· -10,4 bartype: 9 bar

· (2) Klasse A-gewogen geluidsemissieniveau van de werkplek (LpWSAd). Gemeten volgens ISO 2151:2004 (met behulp van de 150 9614/2 geluidsintensiteitsscanmethode). De nieuw toegevoegde correctiefactor is een volkomen onzekere waarde (KpAd), conform de testcode.

· (3) Gewicht is alleen ter referentie; het werkelijk geleverde gewicht prevaleert.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Volgens ISO 1217 bijlage C, 4e editie (2009) zijn de prestatiereferentieomstandigheden van de unit als volgt:

· Relatieve vochtigheid: 0%

· Absolute ingangsdruk: 1 bar

· Inlaattemperatuur: 20°C

De verplaatsing FAD wordt gemeten bij de volgende bedrijfsdrukken:

Modellen met constante snelheid:

-7,5 bar-modellen: 7 bar

-8,6 bar-modellen: 7 bar

-10 bar-modellen: 9 bar

VSD-modellen:

-8,6 bar-modellen: 7 bar

-10,4 bar-modellen: 9 bar

(2) Klasse A-gewogen geluidsemissieniveau van de werkplek (LpWSAd). Gemeten volgens ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 scanmethode voor geluidsintensiteit). De nieuw toegevoegde correctiefactor KpAd is onzeker en voldoet aan de testcode.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Gewicht is alleen ter referentie; het werkelijke gewicht prevaleert.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relatieve vochtigheid: 0%

-Absolute inlaatdruk: 1bar

-Inhamtemperatuur: 20°℃

De ontladingssnelheid (FAD) werd gemeten bij de volgende werkdrukken

Type constante snelheid:

-7,5 bartype: 7 bar

-8,6 bartype: 7 bar

-10 bartype: 9 bar

VSD-type:

-8,6 bartype: 7 bar

-10,4 bartype: 9 bar

(2) Klasse A-gewogen geluidsemissieniveau van de werkplek (LpWSAd).

Gemeten volgens ISO 2151:2004 (met behulp van 150 9614/2 (scanmethode voor geluidsintensiteit).

De nieuw toegevoegde correctiefactor is een volkomen onzekere waarde (KpAd), conform de testcode.

(3) Gewicht is alleen ter referentie; het werkelijk geleverde gewicht prevaleert.

ZR 300-750

Prestatiereferentieomstandigheden voor de unit zijn gemeten volgens bijlage C, 4e editie (2009) van ISO 1217:

· Relatieve vochtigheid: 0%

· Absolute ingangsdruk: 1 bar

· Inlaattemperatuur: 20°C De afvoersnelheid (FAD) werd gemeten bij de volgende bedrijfsdrukken:

Type constante snelheid:

·  -7,5 bartype: 7 bar

· -8,6 bartype: 7 bar

· -10 bar-type: 9 bar

VSD-type:

· -8,6 bartype: 7 bar

· -10,4 bartype: 9 bar

· (2) Klasse A-gewogen geluidsemissieniveau van de werkplek (LpWSAd). Gemeten volgens ISO 2151:2004 (met behulp van de 150 9614/2 geluidsintensiteitsscanmethode). De nieuw toegevoegde correctiefactor is een volkomen onzekere waarde (KpAd), conform de testcode.

· (3) Gewicht is alleen ter referentie; het werkelijk geleverde gewicht prevaleert.

ZR 200X-400X

Prestatiereferentieomstandigheden voor de unit zijn gemeten volgens bijlage C, 4e editie (2009) van ISO 1217:

· Relatieve vochtigheid: 0%

· Absolute ingangsdruk: 1 bar

· Inlaattemperatuur: 20°C De afvoersnelheid (FAD) werd gemeten bij de volgende bedrijfsdrukken:

Type constante snelheid:

·  -7,5 bartype: 7 bar

· -8,6 bartype: 7 bar

· -10 bar-type: 9 bar

VSD-type:

· -8,6 bartype: 7 bar

· -10,4 bartype: 9 bar

· (2) Klasse A-gewogen geluidsemissieniveau van de werkplek (LpWSAd). Gemeten volgens ISO 2151:2004 (met behulp van de 150 9614/2 geluidsintensiteitsscanmethode). De nieuw toegevoegde correctiefactor is een volkomen onzekere waarde (KpAd), conform de testcode.

· (3) Gewicht is alleen ter referentie; het werkelijk geleverde gewicht prevaleert.

Casestudy van gebruiker van cleanroomlaboratorium

Een elektronicafabrikant in Azië installeerde het gespecialiseerde luchtsysteem van DECHUAN om zeer zuivere stikstofgeneratielussen en pneumatische testarmen te leveren. Voorheen lieten standaardcompressoren sporenoliedampen langs inline-filters migreren, waardoor lithografische lenzen werden gecoat en microbreuken in wafercoatings werden veroorzaakt. Na installatie van de Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs rapporteerde het laboratorium nul oliegerelateerde lijnverontreinigingsincidenten, waardoor aanzienlijke kosten voor cleanroomreiniging en herkalibratie werden bespaard gedurende twee jaar continu gebruik.

Afstemming en controle van aangepaste componenten

• Upgrade van roestvrij staalmateriaal: We vervangen alle standaard interne gegoten componenten door hoogwaardig roestvrij staal om te voldoen aan strikte richtlijnen voor microverontreiniging.

• Geavanceerde communicatieprotocollen: De unit is vooraf geladen met gespecialiseerde communicatieprotocollen, waardoor controlecentra voor cleanrooms de luchtmetingen op afstand kunnen monitoren.

• Compacte structurele voetafdruk: De indeling van het interieur is geoptimaliseerd om de voetafdruk te minimaliseren, waardoor het eenvoudig te installeren is in krappe nutsruimten in de laboratoriumkelder.

Veelgestelde vragen over industriële kopers

Vraag: Kunnen we deze compressor rechtstreeks aansluiten op filtratielussen met ultrahoge zuiverheid (UHP)?

A: Ja, onze luchtopbrengst is volledig compatibel met geavanceerde sorptiedrogers voor cleanrooms en submicrondeeltjesfiltratiesystemen. Omdat de ruwe lucht geen oliedamp bevat, raken uw gespecialiseerde filters op het gebruikspunt niet verstopt met olienevel, waardoor de levensduur van het filter wordt verlengd.

Vraag: Hoe zorgen de Z-type afdichtingen ervoor dat er geen olie uit de tandwielconstructie stroomt?

A: De olievrije luchtcompressor voor halfgeleiderlaboratoria beschikt over een fysieke atmosferische ventilatieruimte tussen het oliegesmeerde tandwielhuis en de droge compressiekamer. Gespecialiseerde contactloze koolstofringafdichtingen zijn gecombineerd met negatieve drukkanalen, waardoor eventuele tandwielolienevel volledig wordt geblokkeerd en niet in de schone luchtstroom terechtkomt.

Vraag: Wat gebeurt er als een interne temperatuursensor een abnormale waarde detecteert?

A: De Elektronikon®-controller bemonstert vitale gegevens meerdere keren per seconde. Als er op enig moment een temperatuurpiek wordt gedetecteerd, activeert het systeem onmiddellijk een automatische uitschakeling en sluit het de isolatiekleppen, zodat er nooit ongekoelde lucht stroomafwaarts in de gevoelige apparatuur van uw laboratorium stroomt.